VA/VE (加工技術FAQ)

半導体装置部品は、化学反応を励起させるためなど特殊な材料が使われている部品が多いです。

特殊な材料を使用している部品が非常に多いです。

通常の製造業の部品では、ステンレス、鉄、アルミなどの一般金属で造られる部品が多い ですが、半導体製造装置の部品はアルマイト、モリブデン、タングステンなど、特殊な金属 を使用していることが多くあります。

この理由は、半導体製造の際の化学反応を励起させるために特定の材料を使用しなければな らないことや、各工程は非常に負荷の高い工程のため、強度を特別に強化した合金 でなければ、すぐに部品が壊れてしまうことによります。

部品がすぐに壊れてしまうと、ランニングコストが多くかかってしまうため、丈夫な材料 を選択する必要があります。

ただし、丈夫と言っても、材料の選択肢は多くあるため、コストダウンのためには検討 が必要です。